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表面分析

機能性材料やナノテク材料など先端材料では、表面酸化、腐食、汚染、偏析、膜構造、組成変化、形状変化など、材料の表面に関するさまざまな問題の解明が重要になっています。このような問題に対し、最新鋭の分析機器(ESCA、オージェ、SIMS、EPMA、SPM)を駆使して、材料の表面や界面の情報をとらえ、これらの知見を総合的に判断して、問題の解決にあったています。

X線光電子分光装置(XPS/ESCA)、紫外線光電子分光装置(UPS)

走査型オージェ電子分光法(SAM)

8インチ対応型オージェ電子分光分析法(SMART)

二次イオン質量分析法(SIMS)

飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)

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電子線プローブ微小部分析法(EPMA)

走査電子顕微鏡法(1)走査電子顕微鏡法(2)(SEM)

走査型プローブ顕微鏡法(SPM)

レーザラマン分光分析法(RAMAN)

分析事例

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