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AN1319

昇温脱離ガス質量分析法
TDS-MS:Thermal Desorption Spectroscopy - Mass Spectrometry

1. 特 徴

  • 試料から脱離するガス分子と発生温度、圧力との関係を知ることが可能です。
  • 試料だけの加熱ができるため、バックグランドが低く、水素、水、酸素、窒素などの低質量分子の高感度分析(約1×10E13個分子・cm2レベル)が可能です。
  • 試料からの発生ガス、脱離分子の成分推定及び定量(分子の数)分析が可能です。

2. 原理、概略図

1×10-7Pa以下の超高真空内で試料を加熱し、脱着したガス成分は電子衝撃法でイオン化されます。
生成したイオンは四重極電極の中を通過し、電極に印加する高周波電圧を変化させて得られる固有のm/zから水や水素などを定量します。

写真:装置写真      図:装置の概要図
写真:装置写真   図:装置の概略図

3. 仕様と性能

測定質量数 m/z =1〜200a.m.u
分解能 M/ΔM ≧ M
加熱温度 1,200℃(標準)
1,400℃(MAX)

トランスファーベッセル対応(大気フリー測定が可能)

4. 試料の形状、サイズ

試料サイズ 15mm×15mm×5mm(最大)

5. 分析依頼時の留意点

  • 有機物で汚染された試料は不可
  • ハロゲン原子(特にフッ素)が多く発生する試料は不可
  • 超微量分析であるため、試料の取り扱いは注意する

6. 測定データ例

1) SCAN(定性)スペクトル

横軸は質量数(m/z)、縦軸は強度、斜めの軸は温度(℃)を示します。

2) MID(定量)スペクトル

水素(m/z = 2)、水(m/z = 18)の定量を行っています。横軸は温度(℃)を示します。

7. 適用例

  • 積層間絶縁膜の水分管理
  • H2の脱離
  • ドライエッチングの残渣確認

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