HOME > 分析機能(装置) > 高分子分析
C0701

3次元透過型電子顕微鏡(3D-TEM)

1. メーカー・型式

日本電子製     JEM-2100

2. 特徴

  • 視野・高解像度・高コントラストな観察が可能な透過電子顕微鏡
    STEM-BF(明視野)像、HAADF(暗視野)像の観察
  • 高精細デジタルカメラを一体化した透過電子顕微鏡
    デジタル画像、高感度タイプ、1024×1024画素(12ビット)、19型液晶モニタ、Windows XP/2000、
    BMP/JPEG/TIFF フォーマット3種類、データベース機能、測長機能・画像フィルターによる画像改善
  • 高輝度電子銃(LaB6)を搭載
  • オートフォーカス・オートステイグマ等の自動化機能を搭載
  • 高感度、高精度の分析ができるEDSを搭載:定量マッピング、定量線分析可
  • 電子線トモグラフィー対応:STEMトモグラフィーも対応可
    自動試料傾斜画像取得機能(三次元表示機能、セグメンテーション機能)

3. 装置概観

写真1:3D-TEM装置の概観

4. 性能・仕様

分解能:粒子像(格子像) 0.23nm(0.14nm)
加速電圧 200、160、120、100、80kV
対物レンズ焦点距離源 2.3mm
ビーム径 2 to 25nmdia.
電子線収束角 1.5 to 20mrad
倍率(撮影) ×50 to ×300K
試料傾斜 +/-60degrees
STEM分解能 1.0nm
EDS BからUまで分析可能

5. 応用分野・分析例

  • 高分子材料の海島構造やミクロ相分離構造観察。高分子ラメラ構造観察
  • 複合高分子材料中の充填剤やフィラーの分散状態観察(2次元及び3次元)
  • カーボンナノチューブのSTEM像観察
  • TEM-EDS、STEM-EDS分析

6. 樹脂中の無機フィラー(カーボン他)のTEMによる分散状態観察

2次元画像とトモグラフィー処理

写真2:TEM画像   写真3:TEM画像(白黒反転画像)
TEM画像   TEM画像(白黒反転画像)
     
写真4:3次元 再構築画像   写真5:3次元 動画
3次元 再構築画像   3次元 動画像
     
写真6:粒子径・粒子距離の計測例   図:3次元スライス画像
粒子径・粒子距離の計測例   3次元スライス画像
前のページに戻るこのページのトップへ