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F080

IRイメージング法による微小異物の分析(3)

図1:AxisPro(サンプリング)

図1:AxisPro(サンプリング)

図2:FTS-7000e(IR)

図2:FTS-7000e(IR)

微小異物の分析では、一般に顕微FT-IR法が用いられます。しかし、10μm以下のサイズの異物を測定する際には、赤外光が弱くなりスペクトルを得ることができません。この場合、下記の装置を用い、金蒸着ミラー上に異物を採取し、IRイメージング法によって分析することが有効です。


サンプリング装置:マイクロサポート社製 AxisPro (図1)

マウスコントロールによりマイクロマニピュレーターを操作し、数μm程度の微小粒子を採取できます。


IR装置:Agilent Technologies社製 FTS-7000e (図2)

1ピクセル約1.1 μm角の検出器が二次元的に32×32個装備されており、すべての検出器で同時にスペクトルを測定することができます。

クリスタル ゲルマニウム
測定範囲 900cm-1〜4,000cm-1

紙上にある大きさ2μmのトナー(図3)を、金メッキプレート上にサンプリングし(図4)、IRイメージング法により分析しました。その結果、図5に示したように、良好なIRスペクトルを得ることができました。

図3:紙上のトナー   図5:IRイメージング法による測定結果
図3:紙上のトナー
図4:金蒸着ミラー上に採取したトナー
図4:金蒸着ミラー上に
 採取したトナー
  図5:IRイメージング法による測定結果
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