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F1503

昇温脱離ガス質量分析計(TDS 1200)

1. メーカー・型式

電子科学株式会社製     TDS 1200II型

2. 原理

1×10-7Pa以下の超高真空内で試料を加熱し、脱離したガス成分は、電子衝撃法でイオン化されます。生成したイオンは四重極電極の中を通過し、電極に印加する高周波電圧を変化させて得られる固有のm/zから水や水素などを定量します。

3. 性能・仕様

写真:装置写真

写真:装置の概観

測定質量数 m/z =1〜200a.m.u
分解能 M/ΔM ≧ M
加熱温度 1,200℃(標準)
1,400℃(MAX)

トランスファーベッセルにより大気フリー測定も可能です。

4. 測定試料

対象試料 主に無機化合物
試料量 15mm×15mm×5mm(最大)

5. 分析依頼時の留意点

  • 有機物で汚染された試料は不可
  • ハロゲン原子(特にフッ素)が多く発生する試料は不可
  • 超微量分析であるため、試料の取り扱いは注意する

6. 応用分野・分析例

  • 積層間絶縁膜の水分管理
  • H2の脱離
  • ドライエッチングの残渣確認
  • ウエハ表面の汚染
  • 金属、ガラス、粉体 etc

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