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F1503

昇温脱離ガス質量分析装置(TDS-MS)

1. 装置

メーカー 電子科学
型式 TDS 1200II

2. 特徴

装置外観

1×10-7Pa以下の超高真空内で試料を加熱し、脱離したガス成分は、電子イオン化法でイオン化されます。生成したイオンは四重極型の質量分析器にて検出されます。このm/z値から、水や水素などを定性し、定量することができます。

3. 仕様及び性能

測定質量範囲 m/z 1〜200(Bar測定の場合:m/z 1〜199)
質量分解能 M/ΔM ≧ M
試料加熱温度 〜1,200℃(標準)<〜1,300℃(最大)>
大気フリー測定 トランスファーベッセルを使用して対応可能

4. 測定試料

対象試料 主に無機化合物(金属、ガラス、セラミックなど)
試料量サイズ 15mm×15mm×5mm(最大)

5. 留意点

試料 有機物で汚染された試料は不可。
ハロゲン原子(特にフッ素)が多く発生する試料は不可。
磁性体は不可。
取り扱い 超微量分析であるため、試料の取り扱いは注意する。

6. 応用分野及び適用例

応用分野 適用例
水分管理 積層間絶縁膜、シリコンウエハなど
無機ガス含量の確認
(H2、N2、CO、O2、CO2等)
金属、セラミック、シリコンウエハなど
汚染管理 シリコンウエハ表面の汚染の確認

※区別できないため(いずれもm/z 28)、それぞれを最大の場合の値として算出。

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