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M1101

Cs(球面収差)補正(STEM)

1. メーカー・型式

日本電子製     JEM-2100F

2. 原理・特徴

  1. 電子プローブを形成するレンズの球面収差を補正することにより、非常に細く(0.1nm)かつ電流量が多い電子プローブが得られます。このプローブを用いることにより、高分解能でS/Nが高いデータを得ることができます。
  2. 明視野および暗視野STEM像を測定することにより、試料の組織、組成分布、原子列の並びを調べられます。
  3. 試料から発生する特性X線を検出することにより、0.2nm以下の分解能で組成(C〜U)とその分布を調べられます。
  4. 試料との相互作用で失われた電子のエネルギーを調べることにより、軽元素(Li〜)を含む定性分析や、化学状態を調べられます。
図1:Cs補正STEMと従来STEMの比較 (a)光路図
(b)ビーム強度
(c)STEM像
図1:Cs補正STEMと従来STEMの比較  

3. 性能

TEM点分解能 0.19nm
STEM分解能 0.10nm
図2:Cs補正STEMの分析例(試料:SrTiO3) (a)HAADF-STEM像
(b)ABF-STEM像と単位格子モデル
(c)EELSマップ(Sr-M)
(d)EELSマップ(O-K)
(e)EELSマップ(Ti-L)
図2:Cs補正STEMの分析例(試料:SrTiO3  

4. 応用分野・分析例

  • 半導体材料の各種界面の解析
  • 金属・セラミックス材料の粒界の解析
  • 触媒粒子の組成分析
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