TEM/STEMトモグラフィ
Transmission Electron Microscopy / Scanning Transmission Electron Microscopy tomography

1. メーカー・型式

システムインフロンティア社製      トモグラフィシステム

2. 特徴

1. TEM試料中のナノメータースケールの立体構造を立体視するものです。
2. TEM、STEM、STEM-EDSの各モードで測定可能です。
3. JEM-ARM200Fの幅広い加速電圧（200kVから30kV）から適した条件を選択できます。

3. 原理、概念図

1. TEMまたはSTEMの連続傾斜像（最大±80°）を測定し（図1（a））、各像の位置合わせ、三次元再構成することで、TEM試料におけるナノメータースケールの立体構造を立体視するものです（図1（b））。
2. 再構成の方法はFBP（Filtered Back Projection）、SIRT（Simultaneous Reconstruction Technique）、SART（Simultaneous Algebraic Reconstruction Technique）、およびISER（Iterative Series Reduction）から選択可能です。

図1：概念図

4. 測定データ例

図2：ナノ粒子の再構成像		図3：半導体デバイスの再構成像