電子エネルギー損失分光
（Electron Energy Loss Spectroscopy, EELS）

1. 原理

EELS法は、入射電子が試料物質との相互作用によりエネルギーを失った非弾性散乱電子を分光することで （図1） 、試料の元素組成や化学結合状態を解析する手法です。

2. 特徴

（1）高エネルギー分解能

冷陰極電界放出型電子銃（Cold-FEG）を有するJEM-ARM200Fに搭載することで、高エネルギー分解能のスペクトルが取得可能です。

（2）Dual EELS

異なるエネルギー範囲のスペクトルを同時取得可能です。例えば、注目元素の吸収端エネルギーが離れている場合や、ゼロロスピークを用いてエネルギー補正する場合に有利な機能です。

（3）加速電圧の可変性

JEM-ARM200Fの幅広い加速電圧（30 〜 200 kV）から適した条件を選択できます。

3. 仕様

Gatan製 Enfinium

4. 測定例

hexagonal -BNの測定例を図2に示します。新型検出器で取得したスペクトルでは、π*ピークの先鋭化や、σ*ピークの微細構造を確認できます。

図1：EELS検出器の模式図		図2：B-K吸収端（hexagonal-BN）の EELSスペクトル（加速電圧120kV）