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M9801

電界放射型透過電子顕微鏡(FE-TEM)

1. メーカー・型式

日本電子製     JEM-2010F

2. 原理・特徴

(左)写真:電界放射型透過電子顕微鏡(右)図:FE-TEM装置の概略図
  1. 試料に電子線を照射して透過した電子線を電子レンズで拡大することにより、試料内部の組織と構造を調べる。
  2. 電子線回折の測定より、数nm〜数μmφの微小領域の結晶構造を調べる。
  3. 明視野及び暗視野像を測定することにより、試料内部の組織と組成分布を調べる。
  4. 試料から発生する特性X線を検出することにより(エネルギー分解能138eV)、1nm以下の微小領域の元素(C〜U)を調べる。
  5. 試料によって吸収された電子のエネルギーを調べることによりネルギ(エー分解能1eV)、軽元素(Li〜)の定性分析や、元素の酸化状態を調べる。

3. 性能

TEM格子分解能 0.1nm
TEM格子分解能 0.23nm
STEM格子分解能 0.2nm
ビーム径 1nm以下

4. 試料作成方法

5. 応用分野・分析例

  • GaAsなど化合物半導体の超格子構造の観察
  • GaN系LEDやLD構造の解析
  • Si半導体中の酸化膜や電極構造の解析
  • 液晶など表示デバイスの膜構造分析
  • 金属・セラミックス材料の粒界の解析
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