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M9902

集束イオンビーム加工観察装置(FIB)

1. メーカー・型式

日立製作所社製     FB-2000A

2. 原理・特徴

  1. 電界により液体Gaから引き出したGaイオンを細く絞り、試料上を走査することにより、特定箇所の断面・平面TEM試料やSEM試料を作製します。
  2. マイクロサンプリングにより特定箇所のTEM試料薄片を取り出すことができます(下図参照)。
  3. 試料から発生する2次電子を検出することにより組織の観察を行います(SIM像)。特に、チャネリング効果を利用した金属のグレイン観察に威力を発揮します。
  4. 特定箇所へ金属(W)をデポジションし、FIB加工ダメージを保護します。
図:マイクロサンプリングによる断面TEM試料作製方法

図:マイクロサンプリングによる断面TEM試料作製方法

3. 性能

SIM像分解能 10nm以下
加速電圧 10〜30kV
試料ステージ TEM共用ホルダー付属
試料ステージ マイクロサンプリン装置付属(試料サイズ5mmφ以下)

4. 応用分野・分析例

  • 特定箇所の断面及び平面TEM試料の作製
  • 特定箇所の断面及び平面SEM試料の作製
  • チャネリング効果を利用した結晶グレインの観察
  • 各種材料へのマイクロサンプリング方法の応用
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