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O9701

シリコンウエハーアナライザー装置(TDS-GC/MS)

1. メーカー・型式

ジーエルサイエンス社製     SWA-256型

2. 原理・概略図

加熱炉に試料ウエハを入れ、He気流中で所定の温度(室温〜700℃)に設定し、試料の片面から揮散したガスのみを捕集管にトラップします。次に捕集管を加熱し、脱着したガスをTCTに捕集します。さらにTCTで加熱・脱着してGC/MSで測定を行い、各成分の解析と定量を行います。(TDS-GC/MS)
また、上記TDS-GC/MSから加熱炉と捕集管の部分を除いた、TCTとGC-MSの組み合わせで、TCT用捕集管の捕集したガスの分析が行えます。(TCT-GC/MS)

図:TDS-GC/MSの概念図

図:TDS-GC/MSの概念図

3. 性能・仕様・付属品

測定温度 室温〜700℃(TDS-GC/MS)
GC/MS HP社製 5973型

4. 試料形状・サイズ

TDS-GC/MS 試料サイズ:3インチ〜12インチφ、20cm角、厚みは2mm以内
TCT-GC/MS TCTチューブに捕集したガス

5. 分析依頼時の留意点

試料到着後、迅速に測定を行うため、依頼予定日をお知らせください。

6. 応用分野・分析例

  • シリコンウエハ表面の有機物の構造解析、定量
  • クリーンルーム大気中の有機物の構造解析、定量
  • 電子材料からの加熱時揮散物の分析

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