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S0001

二次イオン質量分析計(SIMS)

1. メーカー・型式

AMETEK(CAMECA)社製     IMS-6f

2. 原理・特徴

図:SIMS装置の概略図
  1. 試料に0.5〜15kVで加速されたイオンを照射し、試料表面から放出される二次イオンを質量分析することで水素を含む全ての元素を高感度(ppm〜ppb)で検出できる。
  2. 深さ方向の分析が(数Å〜数μm)が容易に行える。
  3. 面分析と深さ方向分析を組み合わせて、三次元分析ができる。
  4. 同位体分析が行える。

3. 性能・仕様・付属品

質量分解能 M/dM=10,000以上
質量範囲 1〜250amu
像分解能 0.2〜0.5μm
マッピング機能 投影/走査モード
付属品
  • 電子中和銃
  • 高性能Csイオン銃

4. 試料形状・サイズ

固体(10mm×10mm×5mm(t)以下)

5. 分析依頼の際の留意点

試料の取扱の際、試料表面の汚染に注意して下さい。真空中で揮発する試料は測定できません。絶縁体試料は測定が困難です。

6. 応用分野・分析例

  • 半導体(Si、GaAs等)中のドーパントの分析
  • 極浅分析/ウエハ表面の汚染分析
  • 磁性膜の深さ方向分析
  • 半導体デバイスの三次元分析

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