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S0003

走査型オージェ電子分光装置(SMART-200)

1. メーカー・型式

ULVAC-PHI社製     SMART-200

2. 概要

走査型オージェ電子分光装置(SAM)は、固体試料の微小領域(最小分析径:150Å、深さ数十Å)における元素の種類とその分布を調べる表面分析手法です。SMART-200は、8インチまでのウエハについてウエハ上の異物を直接オージェ測定できるオージェ電子分光装置です。

写真:SMART-200の外観

SMART-200の外観

3. 装置の構成

図:装置の構成

4. 性能

電子銃 FEタイプ
加速電圧 3〜25kV
最小分析領域 15nm
エネルギーレンジ 0〜2.5keV
分析室到達真空度 2×10-10torr
Arイオン銃の加速電圧 0.2〜5kV

5. 特徴

  • 固体試料の微小領域(最小分析径:150Å、深さ数十Å)の分析ができる。
  • H、Heを除く全ての分析ができる。
  • 元素の二次元分布が測定できる。
  • エッチング装置を用いることにより、試料の深さ方向の元素分析が容易に行える。
  • ナビゲーション機能により、ウエハ上の異物を迅速に分析できる。
  • 低速イオンビームを用いることにより、絶縁材料の分析がより容易に行える。

6. 測定例

ウエハの異物マップ

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