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S0502

電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

1. メーカー・型式

日本電子製    JSM-7000F

2. 原理・概略図

図:FE-SEM装置の概略図
  1. 金属チップ先端に強電界をかけると、トンネル電子が真空中に飛び出してくる。この電子線は高輝度で、且つエネルギー幅が小さいため、高分解能観察が可能となる。特に低加速電圧においても高い分解能を示す。
  2. アウトレンズ方式の採用により、試料サイズ、材質の制約が少なく、汎用性が高い。
  3. 試料から発生する特性X線を検出して、微小領域の元素分析(B〜U)を行うEDS分析が可能。
  4. サーマル型は、長時間の安定運転が可能で、低加速電圧や高画素数での長時間EDSマップが可能。
  5. ビーム電流を大きくしても、分解能低下が少ない設計となっており、低加速電圧(大電流)で、高倍率・高分解能のEDSマッピングが可能。

3. 性能・仕様

電子銃 電界放出型(サーマル型)
分解能 二次電子像 1.2nm(30kV)、3.0nm(1kV)
倍率 ×10〜×500,000
加速電圧 0.5〜30kV
検出方法 二次電子像、反射電子像

4. 試料形状・サイズ

形状 86mmφ×40mmH以下
加工 機械研磨、ミクロトーム法、CP法、FIB法によるによる断面加工
性状 試料作製時に、水・有機溶媒や各種樹脂等を使用するため、耐熱性、吸湿性、耐薬品性等の情報が必要

5. 適用分野

  • 製造工程の異物解析
  • 低加速電圧による高分子材料のEDS分析
  • 長時間連続運転による高画素数EDSマッピング
  • 低加速電圧、大電流分析による高倍率・高分解能EDSマッピング
  • その他、汎用SEM用途

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