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S0601

X線および紫外線光電子分光装置 ESCA(XPS)

1. メーカー・型式

ULVAC-PHI製     PHI1800

2. 原理・特徴

図:ESCA(XPS)装置の原理
  1. XPS:試料に一定のエネルギーを持ったX線を照射して光電効果により発生する電子の運動エネルギーを測定することにより、試料表面(〜数nm)に存在する元素と原子価、結合状態を調べる。
  2. トランスファーベッセルの使用によりアルゴン雰囲気中での試料導入が可能であり、大気中で活性な試料の取り扱いが容易である。
  3. 非破壊で分析できる。

3. 性能・仕様・付属品

X線源 Mg/Alデュアルアノード
アナライザー 半球型タイプ
検出器 16チャンネル
付属品 Arイオンエッチング銃、トランスファーベッセル

4. 試料の形状・サイズ

固体(50mmφ×5mm(t)以下)、または粉体

5. 分析依頼の際の留意点

試料取扱いの際には、試料表面の汚染に注意してください。また、放出ガスの多い試料や真空中で揮発する試料は測定できません。

6. 応用分野・分析例

  • ポリマー材料の表面分析
  • セラミックス材料の表面分析
  • 金属材料、電極材料の表面分析
  • 各種触媒の表面元素組成・化学状態分析
  • 各種薄膜材料の深さ方向分析

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