オージェによる有機EL膜の分析

走査型オージェ電子分光法（SAM）による有機物の分析は、一般に試料帯電（チャージアップ）が強く生じるため、非常に困難です。しかし、有機EL膜（図1参照）のように、平坦な有機薄膜の場合は、試料を傾斜することでチャージアップなしに測定が可能です。ここでは、有機EL膜の深さ方向分析を行った例を図2に紹介します。

図1：有機EL素子の構造

EL膜のデプスプロファイル測定より、EL膜は多層構造になっていることが分かります。

図2：有機EL素子多層膜のオージェ電子分光法によるデプスプロファイル測定