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S320

オージェ及びレーザラマンによるセラミックスの構造評価

水熱合成法を用いて成膜したPb(Zr、Ti)O3膜の構造について調べるために、研磨法により膜断面を作製し、オージェ並びにレーザラマンを用いて分析を行いました。

図1は膜厚方向の組成(オージェ)及び構造(ラマン)の変化を調べたもので、試料表面より5〜6μmの領域では組成、構造ともに安定しているものの、Pb(Zr、Ti)O3膜/Ti基板の界面部分で乱れが観測されました。Pb(Zr、Ti)O3は組成や構造によって特性が変化するため、基板界面の乱れによる特性への影響が考えられます。

図1:水熱合成法により成膜したPb(Zr、Ti)O3膜のオージェ電子分光およびラマン分光分析

図1:水熱合成法により成膜したPb(Zr、Ti)O3膜のオージェ電子分光およびラマン分光分析

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