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S353

カーボンナノチューブ(CNT)の低ドーズ測定

CNTは電子線に敏感な材料として知られています。加速電圧120kVの電子を照射したSWCNTのTEM写真を(図1)に示します。照射時間と共にCNTの壁が凹凸になっており、電子線ダメージと考えられます。電子線照射量(ドーズ量)を抑えた測定がダメージ低減の手段の一つと考えられます。露光時間を一定としドーズ量を変化させた場合の高感度フィルム(Kodak SO-163)とCCDカメラ(Gatan model894)の比較TEM写真および像強度プロファイルを(図2)に示します。低ドーズ測定において、SWCNTと真空のコントラスト差とノイズ量にCCDの優位性が認められ、ダメージをより受けやすい材料への応用が期待されます。

図1:電子線照射時間とダメージ

図1:電子線照射時間とダメージ

図2:フィルムとCCDの比較

図2:フィルムとCCDの比較

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