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S427

透過型電子顕微鏡試料作製:ミクロトーム法

透過型電子顕微鏡(TEM)測定のためには、試料を電子線が透過する厚み(約100nm以下)に薄くする必要があります(参考資料:透過型電子顕微鏡試料作製方法)。その方法の一つとしてミクロトーム法を紹介します。

ポリマーや複合材料に対して、イオンダメージや熱ダメージなしに広範囲を観察できます。ただし、適応材料に制限があることと、機械的ダメージを考慮する必要があります。

図:ミクロトーム法

図:ミクロトーム法

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