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S429

透過型電子顕微鏡試料作製:Arミリング法

透過型電子顕微鏡(TEM)測定のためには、試料を電子線が透過する厚み(約100nm以下)に薄くする必要があります(参考資料:透過型電子顕微鏡試料作製方法)。その手法の一つとしてArミリング法を紹介します。

セラミックス、金属、基板上の各種薄膜に対して、イオンダメージが少なく薄い試料が作製できます。ただし、100℃程度の加熱、溶媒との接触があることと、広範囲の薄片化が困難であることを考慮する必要があります。

図:Arミリング法

図:Arミリング法

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