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S433

D-SIMSの深さ方向面分析(3D)評価

D-SIMS分析での面内濃度分布評価手法の一つとして、投影モード測定法による面内元素マップ測定があります。この手法で取得されたデータと、スパッタによる深さ方向の情報を画像処理によって3D加工すると、立体的な表示が可能で試料内部における元素濃度分布の状態を分かりやすく表現することができます。

図1はSi基板上の格子パターン中に含まれる181Taの元素マップを投影モード測定法にて取得し、400スパッタサイクル分のマップデータをもとに3D画像処理を行った結果になります。図2のデプスプロファイル測定のみの1次元的な深さ情報だけでは全く把握できない、2次元面内へ異方的に拡がる濃度分布の様子が明確となり、さらにスパッタ方向での微細な拡散情報についても容易に理解することができます。特に、右下の3D表示のまま様々な方向から俯瞰的な観察もできるため、複雑な分布も簡単に解釈が可能です。

図1:面分析測定結果(3D画像処理) 右上:図2:デプスプロファイル測定結果

図1:面分析測定結果(3D画像処理)

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