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S447

D-SIMSの面分析における強度比解析

D-SIMSを用いた面分析の解析アプリケーションの一つとして、異なる二つの測定元素マップから任意のエリアを指定し、そのエリア内の深さ方向面内強度の積算結果から、元素間での強度比を算出して面内の濃度分布状態を定量的に比較できる解析手法があります。

本実施例では、71Gaマトリクス中に含まれる、30Siドーパント元素の割合を任意のエリアを指定して算出します。図1は試料中に含まれる30Siと71Gaの二次イオン深さ方向面マップで、深さ方向へは200サイクル分(約0.8μm深さ)の面内二次イオン強度情報を取得しています。

次に、取得した二次イオン像全体面を強度算出エリアとして指定し、同位置におけるそれぞれの深さ方向二次イオン積算強度を算出後、強度比解析を行いました。得られた強度比計算の結果、本試料中において、71Gaマトリクス中に存在する30Siドーパント元素の含有割合は、約2%であることがわかりました。

図1:二次イオン深さ方向面マップ

図1:二次イオン深さ方向面マップ

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