SEMによる低加速電圧でのEDSマップ

SEM-EDS測定において、特性Ｘ線の発生領域は入射電子の加速電圧によって変化します。加速電圧が低くなると特性Ｘ線の発生領域が小さくなることから、EDSマップの空間分解能の向上が期待できます。

試料としてNiOとCoO試薬を混合した粉末を用いました。加速電圧20kVのSEM像を図1（a）に、同一視野のEDSマップを図1（b）に示します。EDSマップはCoを赤、Niを緑として重ねあわせたものです。粒子単位でNiOとCoOが混合している様子が分かります。

次に、同じ視野の加速電圧5kVのSEM像を図2（a）に、EDSマップを図2（b）に示します。加速電圧を下げることにより、SEM像では粒子の表面形状が詳細に観察でき、EDSマップでは空間分解能が向上していることが確認できます。

図1：加速電圧20kV（a）SEM写真、（b）EDSマップ（赤Co、緑Ni）
図2：加速電圧5kV（a）SEM写真、（b） EDSマップ（赤Co、緑Ni）