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S495

STEM像と同一視野SEM像測定

STEMと同一視野のSEM像を測定することで、表面情報と内部情報を切り分けて捉えることが可能です(技術資料「触媒粒子のSEMおよびSTEM観察」参照)。

触媒金属/カーボン担体の暗視野STEM像を図(a)に示します。暗視野STEM像では担体のおもて面、内部、うら面に存在するすべての粒子が観察されます。一方、SEM像では担体のおもて面(b)またはうら面(c)近傍に存在する粒子のみが観察されることが期待されます。なお、うら面のSEM像は反転表示しています。また、SEM像形成には二次電子検出器を用いていますが、反射電子も検出されるため担体内部の情報を含む可能性があります。

暗視野STEM像を青色、SEMおもて面を赤色、SEMうら面を緑色として合成した像を図(d)に示します。この像において、担体おもて面に存在する粒子は紫色に、担体うら面に存在する粒子は水色に、担体内部に存在する粒子は青色に見えることになります。

このように、STEMと同一視野のSEM像を測定・解析することで、簡易的に表面情報と内部情報を切り分けて推定することが可能です。

図:同一箇所STEM/SEM像 試料:触媒金属/カーボン担体(a)暗視野STEM像、(b)SEM像おもて面、(c)SEM像うら面、(d)RGB合成像 図:同一箇所STEM/SEM像 試料:触媒金属/カーボン担体(a)暗視野STEM像、(b)SEM像おもて面、(c)SEM像うら面、(d)RGB合成像
図:同一箇所STEM/SEM像 試料:触媒金属/カーボン担体(a)暗視野STEM像、(b)SEM像おもて面、(c)SEM像うら面、(d)RGB合成像 図:同一箇所STEM/SEM像 試料:触媒金属/カーボン担体(a)暗視野STEM像、(b)SEM像おもて面、(c)SEM像うら面、(d)RGB合成像
図:同一箇所STEM/SEM像 試料:触媒金属/カーボン担体
(a)暗視野STEM像、(b)SEM像おもて面、(c)SEM像うら面、(d)RGB合成像

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