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パワー半導体

図:パワー半導体

パワー半導体とは電気自動車で用いられる大電流を制御するために用いられる半導体です。電気自動車の普及のためには、高性能なパワー半導体の開発が不可欠です。

弊社は極微の世界を可視化する収差補正STEMでその開発を強力に支援致します。

分析項目

分析項目 使用機器・手法 分析事例
表面形状 SPMSEM SPMによるSiウエハの表面粗さ測定
表面組成・化学状態 XPSSEM EDS制限視野マッピング測定
デバイスの表面汚染の分析
微量不純物 SIMS SIMS測定における妨害イオン除去法(1)
SIMS測定における妨害イオン除去法(2)
多層構造 AESXRDSIMS D-SIMSの深さ方向面分析(3D)評価
面内回折法による表面構造解析(1)
面内回折法による表面構造解析(2)
多孔質low-k膜ポアサイズ分布解析
断面構造・組成分析 STEM Cs(球面収差係数)補正STEM
Cs補正STEMによる各種材料観察
断面層構造 TEMSTEMAESRAMAN EELSスペクトルラインプロファイルによる酸化膜解析
高真空中で作製したSiウエハ劈開面のオージェ分析
オージェ及びレーザラマンによるセラミックスの構造評価
断面の結晶構造 XRD 多層薄膜の深さ制御In-Plane回折測定
FIB-SIM SIM像によるチャネリングコントラスト
欠陥解析 TEMSTEMSEMSIMS、FIB-SIM SIM像を用いたLSIの不良箇所の特定
走査モード法によるSIMSデプスプロファイル測定

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