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C1701

ナノインデンター

1. メーカー・型式

HYSITRON製     TI Premier Multi Scale

2. 概要

ナノインデンテーションとは、鋭く尖った圧子で試料を押し込んだ時の荷重(力)と変位(押込み距離)を同時測定し、荷重変位曲線を得て、複合弾性率・硬さを計測する手法です。

3. 装置外観

写真:装置の概観

写真:装置の概観

図:測定の流れ

図:測定の流れ

4. 装置仕様

項目 性能
圧子 低荷重バーコビッチ 〜10mN
高荷重バーコビッチ 〜1,000mN
高荷重コニカル 先端半径5µm、開き角60°
プッシュアウト 高荷重
測定 モード 荷重制御、変位制御
複合弾性率・硬さ 低荷重モード:〜5µm
高荷重モード:〜80µm
動的粘弾性 低荷重モード、0.1〜300Hz
ISO14577-1 低荷重モード
観察 光学顕微鏡(OM) 48〜3,000倍
AFM(低荷重モードのみ) コンタクトモード、最大走査60µm
ステージ 自動稼動領域 50×100×50(z)mm
試料サイズ 同上
ステップ分解能 50nm(x、y)
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