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ICP-MSによる高純度アンモニア水中の極微量元素の定量分析

高純度試薬中の不純物分析は、品質管理等の理由からpptレベルの低濃度域の定量が求められます。しかし、誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）により低濃度域を測定しようとすると、高純度試薬自身がマトリックスとなり、分析元素に干渉を与えてしまいます。
そのため、分析元素に干渉を与えない程度までマトリックスを除去する必要があります。

今回、高純度アンモニア水中の極微量元素について、pptレベルの分析方法を検討しました。その結果、開放系の分解では揮散しやすいAsやSeなども同時に定量することが出来、10ppt以下の定量下限で測定することが可能になりました。分析フローを図1に、分析結果を表1に示します。