I389
高純度硫酸中の微量元素の定量分析
高純度硫酸中の微量元素の定量分析例を紹介します。下記分析フローに従い、クリーンドラフト内で高純度硫酸を蒸発し、微量元素を回収処理後、ICP-MS法により定量した結果、検討した全ての元素において定量下限値1ppb未満（高純度硫酸換算）、添加回収率は89〜125％といずれも良好な結果が得られました。当社では、このようなクリーン環境下で前処理することで汚染を最小限に抑えることができ、より低濃度レベルで正確な分析値をご提供できます。
| 元素 | Li | Na | Mg | Al | K |
|---|---|---|---|---|---|
| 分析値（ppb） | <0.2 | <0.5 | <0.5 | <0.8 | <0.6 |
| 添加回収率（％） | 119 | 118 | 95 | 102 | 102 |
| 元素 | Ca | Cr | Mn | Fe | Co |
| 分析値（ppb） | <0.8 | <0.2 | <0.1 | <0.2 | <0.05 |
| 添加回収率（％） | 119 | 111 | 118 | 111 | 119 |
| 元素 | Ni | Cu | Ga | V | Rb |
| 分析値（ppb） | <0.3 | <0.2 | <0.01 | <0.1 | <0.06 |
| 添加回収率（％） | 116 | 111 | 113 | 101 | 100 |
| 元素 | Sr | Ag | Cd | Cs | Ba |
| 分析値（ppb） | <0.02 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.3 |
| 添加回収率（％） | 99 | 89 | 100 | 96 | 100 |
| 元素 | Pb | Bi | Th | U | Zn |
| 分析値（ppb） | <0.03 | <0.06 | <0.01 | <0.05 | <1 |
| 添加回収率（％） | 102 | 125 | 108 | 116 | 96 |
