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SEM-EBSD、EDS同一視野測定によるTi合金のミクロ組織評価

合金やセラミックスなど多くの材料は、その組織構造や組成（分布）に依存して物理的性質が変化することが知られています。

今回、走査電子顕微鏡（SEM：Scanning Electron Microscope）を用い、EBSD（Electron BackScattered Diffraction Pattern）とEDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）を同一視野でマッピング測定することにより、材料のミクロな組織構造と組成（分布）を評価しました。

以下に、Ti合金での実施例を示します。

Ti合金中にTi（α）相とTi（β）相のミクロ組織が確認され、Ti（β）相からはVが多く検出されました。