M229
電子回折および高速フーリエ変換（FFT）パターンについて
電子回折またはFFTパターンを用いれば、試料局所の結晶構造を解析できます（表1、図1）。いずれも透過電子顕微鏡（TEM）で取得できますが、後者は観察像を画像処理して間接的に得られます。また、観察用試料が十分に薄い場合には両者は等価であり、試料の周期性の情報を有します。
| 電子回折パターン | 高速フーリエ変換（FFT）パターン | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 制限視野回折（SAD）パターン | ナノビーム回折（NBD）パターン | 収束電子回折（CBED）パターン | |||
| 得られる情報 | 結晶構造の種類 | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 格子定数*1 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 観察方位 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| その他 | - | - | ○*2 | - | |
| 分析可能な領域 | 約100〜1000nm | 約1〜100nm | 約1〜100nm | 数〜数10nm*3 | |
| 電子線照射量 | 小 | 大 | 大 | 中 | |
| 関連する技術資料 |
電子回折法による土壌鉱物の同定、 電子回折法を用いた炭素繊維の積層構造の評価 |
- | 収束電子線回折像シミュレーションプログラム | 暗視野STEM像によるPt粒子の露出結晶面の解析 | |
- *1未補正の場合、数〜10%程度の測定誤差を含む
- *2結晶学的情報（試料厚み、結晶対称性、格子歪み、格子欠陥など）
- *3FFTパターンの解像度（nm-1／pixel）は、元の観察像サイズ（nm）に反比例するため、注意が必要（図1（c’））
![図1：β-Si3N4を[0001]方位から観察した場合の（a）電子回折パターン（SADパターン）、（b）暗視野STEM像と（b’）そのFFTパターン、（c）（b）の拡大像と（c’）そのFFTパターン](images/img_m229_01.jpg)
図1：β-Si3N4を[0001]方位から観察した場合の（a）電子回折パターン（SADパターン）、（b）暗視野STEM像と（b’）そのFFTパターン、（c）（b）の拡大像と（c’）そのFFTパターン
