S0003
走査型オージェ電子分光装置（SMART-200）
走査型オージェ電子分光装置（SAM）は、固体試料の微小領域（最小分析径：150Å、深さ数十Å）における元素の種類とその分布を調べる表面分析手法です。SMART-200は、8インチまでのウエハについてウエハ上の異物を直接オージェ測定できるオージェ電子分光装置（図1）です。
図1：SMART-200の外観
装置の構成
性能
| 電子銃 | FEタイプ |
|---|---|
| 加速電圧 | 3〜25kV |
| 最小分析領域 | 15nm |
| エネルギーレンジ | 0〜2.5keV |
| 分析室到達真空度 | 2×10-10torr |
| Arイオン銃の加速電圧 | 0.2〜5kV |
特長
- 固体試料の微小領域（最小分析径：150Å、深さ数十Å）の分析ができる。
- H、Heを除く全ての元素の分析ができる。
- 元素の二次元分布が測定できる。
- エッチング装置を用いることにより、試料の深さ方向の元素分析が容易に行える。
- ナビゲーション機能により、ウエハ上の異物を迅速に分析できる。
- 低速イオンビームを用いることにより、絶縁材料の分析がより容易に行える。
測定例
