高感度SEM用EDS検出器

1. メーカー・型式

ブルカー・エイエックス株式会社製     XFlash®5060FQ

2. 原理および特徴

本装置は、試料直上にEDS検出器を配置しており、発生Ｘ線を高効率・高感度で検出できます。 また、4枚の検出器は同軸に配置されており、等方的に発生Ｘ線を検出できます。 そのため、低電流・短時間で分析が可能となり、有機材料等の電子線ダメージを受けやすい材料や立体傷害（穴の底や大きい粒子の隣など）を避けた分析が可能です。

3. 主な性能・仕様

4. アプリケーション

• Liイオン電池のように軽元素主体の試料でも、低加速電圧で高空間分解能の分析可能。
• 低プローブ電流・短時間分析により、試料に電子線ダメージを与えることなく分析可能。
• 試料の直上に検出器を配置しているので、凹凸が激しく影ができやすい試料も分析可能。また、今まで困難であった穴底や壁面の分析も可能。