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S281

EELSマッピング

電界放射型透過電子顕微鏡(日本電子製JEM-2010F)付属EELS(GATAN社製ENFINA1000)の新しい機能としてEELSマッピングが可能になりました。

市販LEDチップの基板界面を解析した例を以下に示します。GaN/基板界面を拡大した暗視野STEM像を図1に示します。図1中の「Spectrum Image」と記された領域について、ドリフト補正を行いながら50×50ピクセル(ピクセルサイズ1nm)のEELSスペクトルを得るスペクトラムイメージングを行いました(図2)。

スペクトラムイメージ各ピクセルからEELSスペクトルを抜き出すことが可能です。例えば、図2中の領域□の部分から抜き出したEELSスペクトル(図3)からはN、O、Alが確認できます。図2の全ピクセルについてバックグランド処理を行い、N-K、O-K、Ga-L、Al-Kの各ピークのカウント数を表示したEELSマッピングを図4に示します。Nが部分的に基板側に存在している様子(矢印部)が分かります。

図1:暗視野STEM像 図2 :EELSスペクトラムイメージ
図2:EELSスペクトラムイメージ
図3:抽出EELSスペクトル
図1:暗視野STEM像 図3:抽出EELSスペクトル
図4:EELSマッピング  
図4:EELSマッピング  

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