HOME > 分析対象 > エレクトロニクス > 半導体
S362

多層カーボンナノチューブの長さと直径のSEM測定

多層カーボンナノチューブ(MWCNT)の特性評価項目のひとつとして、MWCNTの長さと直径をSEM像から求めた結果を紹介します。MWCNTを平坦な基板上に分散固定し、SEM観察後に一定のルールに従って計測しています。試料にNTP社製MWCNT(S.MWNTs-1030)を用い、その長さと直径を計測するため、それぞれ適切な倍率で観察しています。ただし、直径計測では、10視野程度撮影しています。SEM像より求めた長さと直径の計測結果をそれぞれ図1、図2に示し、計測結果のまとめを表1に示します。

図1:長さ計測用のSEM像と計測結果

図1:長さ計測用のSEM像と計測結果

図2:直径計測用のSEM像と計測結果

図2:直径計測用のSEM像と計測結果

このように、MWCNT 試料を平坦な基板上に分散固定してSEM観察することにより、SEM像からMWCNTの長さと直径の分布を得ることができます。

表1:計測結果のまとめ
  長さ/μm 直径/nm
平均値 0.23 31.0
中央値 0.17 28.0
標準偏差 0.21 11.2
標本数 291 289
前のページに戻るこのページのトップへ