S426
走査型プローブ顕微鏡（SPM）による分析の概要
走査型プローブ顕微鏡（SPM）：ビーコインスツルメンツ製 Dimension 3100型 Nanoscope IIIa型
測定モード
| 機能 | 測定される物性 | 参考図 |
|---|---|---|
| 表面形状測定 | 凹凸形状 | 図1 |
| 位相イメージング | 凝着力・粘弾性 | 図2 |
| 磁気力顕微鏡 | 磁気力勾配 | 図3 |
| 電気力顕微鏡 | 電界勾配 | 図4 |
| 表面電位顕微鏡 | 表面電位 | 図5 |
| 走査型キャパシタンス顕微鏡 | キャパシタンスの微小変化 | 図6 |
図1：表面形状測定 （例）Siウエハ表面 ウエハ表面の粗さ解析（イメージ全体、ボックス領域のみも可能）
図2：位相イメージング （例）PP系複合材料 凝着力、粘弾性の違いをイメージング化し、相構造を観察
図3：磁気力顕微鏡 （例）ハードディスク表面 漏洩磁界を明暗でイメージング化し、磁界方向を観察
図4：電気力顕微鏡 （例）カーボン微粒子分散樹脂 形状からは分からない導電物質をイメージング化
図5：表面電位顕微鏡 （例）相変化光ディスク表面 相変化部（白色部）と結晶状態部（茶色部）の電位差を観察
図6：走査型キャパシタンス顕微鏡
（例）Si半導体 p型（白色部）とn型（茶色部）半導体領域をイメージング化
