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S491

AFMにおける解析パラメータ

原子間力顕微鏡(AFM)解析において、試料表面形状データとして二乗平均粗さ(Rq)、平均粗さ(Ra)、最大高低差(Rmax)がよく用いられますが、他にも、表面積(Surface Area)、表面積増加率(Surface Area Difference)、歪度(Skewness)、尖度(Kurtosis)等の解析パラメータを求めることもできます。

また、これら解析パラメータは測定エリア全体(下図赤枠内データ)だけでなく、任意の箇所、任意のサイズ(例:図に示したBox枠、0.5×0.5µm角)において(下図青枠内データ)の解析も可能です。

なお、これらの計算前にはデータのFlatten処理を行い、試料由来のX、Y方向の傾きや湾曲等を除去致します。

図:表面解析パラメータ例

図:表面解析パラメータ例

解析エリアのサイズによってデータの値が変化することがよくありますので、試料間で比較される場合は、解析エリアのサイズ統一をお勧めいたします。

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