HR-ICP-MS法（有機溶媒直接導入測定）による有機溶媒中のシリコンの定量分析

有機溶媒に含まれる微量SiをHR-ICP-MS法により分析した事例を紹介します。

分析試料としてN-メチルピロリジノン（NMP）を用いました。NMPをHR-ICP-MSで直接測定することでppbレベルの分析が可能になりました。炭素、窒素由来の分子イオンの干渉スペクトルを分離するため、装置分解能を4000に設定して測定しました。

図1にSiのマススペクトル、図2にNMPベースの検量線を示しました。

図1：Siの高分解能スペクトル

図2：NMPにSiを添加した検量線