大きな試料のSEM-EDS分析

エネルギー分散形Ｘ線分光器（EDS）を装着した低真空走査電子顕微鏡（LV-SEM）の特徴は、絶縁試料をそのままで観察および分析できることです。他の特徴として、大きな試料を切断等の前処理なしでそのまま試料室に挿入できることです。試料室内部の写真と最大試料サイズ等を以下に示します。

SEM：日本電子株式会社　JSM-6460LA型 EDS：日本電子株式会社　JED-2300型

【試料ステージの動き】R=360°　エンドレス

図：試料室内部の写真