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形態観察

新しく開発される材料は、その特性と機能が発現する根拠を、ミクロの目で明らかにしなければなりません。そこに、材料の微小領域を対象とした局所分析の意義があります。有機・無機材料の局所分析は、電子線やイオンを使用する方法によって結晶構造や元素分析、さらに結合状態をナノメーターのレベルで解析しています。この情報と材料の特性・機能の関係を調べることから、新素材の可能性を明らかにし、その開発を大きく前進させます。

装置名 略号 メーカー 型番
走査型プローブ顕微鏡法 SPM ブルカー製 MultiMode8(NanoScope V)
球面収差補正STEM STEM 日本電子 JEM-ARM200F
Cs(球面収差)補正STEM STEM 日本電子 JEM-2100F
電界放射型透過電子顕微鏡 FE-TEM 日本電子 JEM-2010F
電界放射型透過電子顕微鏡(Cs補正付属) FE-TEM 日本電子 JEM-2100F
電界放射型走査透過電子顕微鏡 FE-STEM 日立製作所 HD-2000
3次元透過型電子顕微鏡 3D-TEM 日本電子 JEM-2100
透過型電子顕微鏡 TEM 日立ハイテクノロジーズ HT7700
透過型電子顕微鏡 TEM 日本電子 JEM-200CX
トリプルビーム(FIB-SEM-Ar)複合装置   SIIナノテクノロジー XVision200TB
トリプルビーム(FIB-SEM-Ar)複合装置の大気遮断対応     VTD2500
電界放射形走査電子顕微鏡 FE-SEM 日本電子 JSM-700F
電界放射形走査電子顕微鏡 FE-SEM 日立製作所 S-4800
走査型電子顕微鏡 SEM 日本電子 JSM-7800F
低真空走査電子顕微鏡 SEM 日本電子 JSM-6460LA
電子後方散乱回折 EBSD TSL OIM
透過電子後方散乱回折 t-EBSD TSL OIM
集束イオンビーム加工観察装置 FIB 日本電子 JIB-4000
集束イオンビーム加工装置 FIB 日立製作所 FB-2000A
集束イオンビーム加工装置 FIB 日立製作所 FB-2000C
クロスセクションポリッシャ CP 日本電子 SM-09010
SM-09020
大気非曝露冷却クロスセクションポリッシャ CP 日本電子 IB-09020CP
TEMひずみ解析ソフト PPA HREM Research  
TEM/STEMトモグラフィ   システムインフロンティア  
固体の電子構造計算プログラム:EELS理論計算 WIEN2k    
FIB、SEM、TEM大気遮断搬送機構      
リモート立会いシステム      

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