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表面分析

機能性材料やナノテク材料など先端材料では、表面酸化、腐食、汚染、偏析、膜構造、組成変化、形状変化など、材料の表面に関するさまざまな問題の解明が重要になっています。このような問題に対し、最新鋭の分析機器(ESCA、オージェ、SIMS、EPMA、SPMなど)を駆使して、材料の表面や界面の情報をとらえ、これらの知見を総合的に判断して、問題の解決にあたっています。

装置名 略号 メーカー 型番
多機能走査型X線光電子分光装置(VersaProbe) XPS/ESCA、UPS ULVAC-PHI PHI5000 VersaProbeII
光電子分光装置 XPS/ESCA ULVAC-PHI PHI 1800
走査型X線光電子分光装置 XPS/ESCA ULVAC-PHI Quantum 2000
8インチウエハ対応走査型オージェ電子分光装置 SMART ULVAC-PHI SMART-200
走査型オージェ電子分光装置 SAM ULVAC-PHI PHI-670
二次イオン質量分析計 SIMS AMETEK(CAMECA) IMS-6F
飛行時間型二次イオン質量分析計 TOF-SIMS ULVAC-PHI TRIFT V
電子線マイクロアナライザー FE-EPMA 日本電子 JXA-8530F
電界放射形走査電子顕微鏡 FE-SEM 日立製作所 S-4800
電界放射形走査電子顕微鏡 FE-SEM 日本電子 JSM-7000F
走査型電子顕微鏡 SEM 日本電子 JSM-7800F
低真空走査電子顕微鏡 SEM 日本電子 JSM-6460LA
電子後方散乱回折 EBSD TSL OIM
透過電子後方散乱回折 t-EBSD TSL OIM
触針式表面形状測定器   ULVAC Dektak 150
走査型プローブ顕微鏡法 SPM ブルカー製 MultiMode8(NanoScope V)
顕微レーザラマン分光装置 RAMAN 日本分光 NRS-3300
大気非曝露冷却クロスセクションポリッシャ CP 日本電子 IB-09020CP
卓上傾斜切削機   NEAT  

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