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S1001

触針式表面形状測定器

1. メーカー・型式

ULVAC製     Dektak 150

2. 原理・特徴

本装置では、ダイヤモンド触針の下で、精密な基準表面上をサンプルステージを直線的に移動させることにより、試料表面の段差、うねり、粗さなどの表面形状を高精度に測定することができます。サンプル表面の形状変化は触針の垂直方向の動きとして差動トランスにより検出され、その信号は積算型のA-Dコンバータによってアナログからデジタルに変換されます。デジタル化された信号は、コンピュータのメモリに保存され、水平調整・拡大等のデータ処理を行った後、表面形状のプロファイル、表面粗さなどの解析パラメータとして表示することができます。

写真:装置外観 図:システム構成のブロック図
装置外観 システム構成のブロック図

3. 性能・仕様・付属品

垂直分解能/測定レンジ 0.1nm/6.5μm、1nm/65.5μm、8nm/524μm
水平方向走査距離 50μm〜55mm
膜厚測定再現性 1σ=0.6nm以下
測定時間 3〜200secの範囲で任意に設定可能
触針荷重 0.03〜15mg(ローフォースセンター搭載:柔らかい試料も測定可能)
サンプリングデータ数 最大60,000点
解析パラメータ Ra、Rq、Rp、Rv、Rt、Rzdin、MaxRa、Maxdev、Skew、Wa、Wq、Wp、Wv、Wt、Wmaxdev、ASH、AvgHt、Peak、Valley、P-V、TIR、PC、HSC、Area、Slope、Volume、Radius、Perimeter、Sm、Tp
触針半径 2.5μmR、12.5μmR
サンプルステージサイズ 直径150mm(最大サンプル厚:85mm)

4. 応用分野・分析例

  • ウエハ表面のうねり、粗さ測定やパターン付きウエハ表面の段差測定など
  • ポリマーフィルムの表面形状評価、傾斜切削面の形状観察
  • プラズマ処理を施したAuめっき膜表面の粗さ評価

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