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S411

AFMによる精密研磨面の表面形状比較

セラミックス等の表面を鏡面仕上げした試料において、光学顕微鏡では全く差異の認められない試料表面でも、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて断面解析等を行うことにより、それらの差異を確認することができます。

図1:試料A(左)と試料B(右)の表面形態

図1:試料A(左)と試料B(右)の表面形態

例えば、図1に示す2試料(A、B)の試料表面形状には大きな差異がないように見られますが、図2に示すような断面解析を行うことにより、研磨表面の形態がよく分かり、ナノメートルオーダーの差異を明確にすることができます。また、表面粗さを求めたところ、試料Aでは0.25nm、試料Bでは0.57nmと試料Bのほうが粗くなっていることが分かり、図2と一致した結果が得られました。

試料Aの断面解析 試料Bの断面解析
図2:試料A(左)と試料B(右)の断面解析
 

以上のように、形態観察のみでは分かりにくい試料表面でも、AFMを用いて断面解析を行うことにより、差異を明確化することが可能です。

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