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異物分析

加熱発生ガスの分析装置

プラスチック成形品、半導体、基板、食品、医薬品等に発生する「異物」の特定は重要であり、また最近では異物が微小化しており、異物分析には高度な技術が要求されます。
ここでは、異物を特定する上で多用されている顕微赤外分光法(顕微IR)、熱分解ガスクロマトグラフ−質量分析法(Py-GC/MS) 、電子線プローブ微小部分析法(EPMA) 、顕微ラマン分光法(顕微ラマン)、飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)による異物の分析を中心に紹介いたします。

異物の形状分類

お困りの異物はどんな形態ですか?

断面方向からの模式図

表面

左:塊状、中:繊維状、右:液状

シリコンウエハ、プラスチック成形品、フィルム、加工食品、基板、紙製品、デジカメ、レンズ

内部

左:孔中、中:内部、右:チューブ内

プラスチック成形品、携帯電話・デジカメの基板、チューブ、インクジェットプリンターのノズル、粘着物、加工食品・飲料、中間膜、調味料

埋没

フィッシュアイ

フィルム、プラスチック成形品、加工食品、レジスト、紙製品、粘着物、中間膜


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異物の寸法と測定方法

お困りの異物はどのくらいの大きさですか?

図:異物の寸法と測定方法


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微小異物の総合的分析フロー

下図のような流れで異物を分析します。

微小異物の総合的分析フロー


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分析例

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技術資料

分析事例

有機材料 フィルムのFE分析
熱分解GC/MSを用いた微小黒色ゴムの分析
顕微FT-IRイメージング法による異物分析
IRイメージング法による微小異物の分析(3)
TOF-SIMSによる有機材料の表面汚染評価
電子材料 IRイメージング法による微小異物の分析(1)
IRイメージング法による微小異物の分析(3)
黒色異物の分析
熱分解GC/MSによる糖類系異物の分析
ウエハ表面の異物の特定
レーザーラマン分光による多層フィルム中の異物分析
SEM-EDS ミリングプロによるガラス中埋没物の同定
反射電子像観察による異物探索
ライフサイエンス関連 TOF-SIMSによる生体試料の分析(毛髪の分析)

機器説明


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依頼に関するお願い

ご依頼に際しましてはできるだけ下記の点にご留意下さい。

1. 異物の形態および異物を含む試料の保管に関して

  1. 写真、図面等で異物をお示し下さい。
  2. 試料はできるだけ素手で触れないようにして下さい。
  3. 試料は新品のアルミホイルで包んで、チャック付き袋に入れて保管して下さい。

2. その他

  1. 可能な限り異物に関する情報をご提供下さい。
  2. 詳細については弊社営業担当にご相談下さい。

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